節能減碳少汙染！半導體用LED光源曝光機亮相！微影半導體，將有機會成為台版ASML？ft.微影半導體胡德立董事長

[@hbw3233]

謝謝！

[@Ansforce]

謝謝你的支持！

[@海邊一日]

曲博哥好帥❤又專業

[@sjlin6136]

13:12 開始影音不同步

[@orangetsou2094]

哪一檔可以買，我期待

[@chenenjoytheluxury2668]

這個我覺得好強，LED一堆不是coherent 的光源，光是想怎麼對焦就很頭痛了。更不用說還要在投影平面上保持均勻。

[@brightsun2327]

台灣已有本土的相關技術

[@Ansforce]

哦！那能不能介紹一下？

[@gordonfang4480]

我有應用的方向，太好了，讚👍

[@AdamAdam-gy9fw]

加油、加油

[@莫尼卡-s8v]

沖繩科技大學研發的簡版EUV，會大放異采嗎？因此日本半導體產業遠遠超越台積電可能性如何？

[@Ansforce]

這個我還在找論文看看它用什麼方法，找到了再拍一集來詳細介紹唷！

[@FredCHuang-bj3ii]

1x Dyson 算非常成熟的技術，蠻多廠商有相當經驗。請問有細部規格？ DoF@1um L/S, Max. field size? WPH@1000 mJ/cm2? Overlay?

[@筋面佛]

请教LED光源的wave length？

[@quickyu]

微影半導體的曝光機所使用的LED光源，必定需要高功率。 不知該LED發光元件是否是自己生產？若是，金屬電極的材料是用Al嗎？還是Al-Cu? 若是，在高電流下，純Al會有電遷移問題，所以一般會改用AlCu，若是採用蒸鍍製程，常用的是Al2Cu，但基於Al和Cu的蒸氣壓差異，所蒸鍍得到的膜層，銅含量不高。 抗電遷移的效能，會隨著AlCu電極薄膜中的含銅量增加而增加。由文獻顯示，4%含銅量效果最好。或許也是因此，優美科有開發生產供應Al4Cu的靶材，用於濺鍍使用。 若基於成本考量，或許蒸鍍會比較便宜，故基於此，我們開發了高含銅量的Al-Cu(5N)的蒸發料，且已應用在化合物半導體元件中使用，並商品化。 相關實際蒸鍍結果與元件性能參數，也發表於國際期刊。

[@Ansforce]

我認為LED元件不可能自己生產，他們只生產曝光機吧！

[@jjchan456]

沖繩科技技術大學院大學（OIST）研究團隊開發簡化版 EUV 曝光設備(from technews 8/7)或許可以和他們合作一同開發出 更好更省耗能的技術也 0-0

[@dennyliao4104]

製程上是否光阻也需要配合此光源更換？

[@Ansforce]

光阻的種類當然會因為波長而不同。

[@范哲伟]

辉能量产了吗

[@彥-u3t]

曲博您好，這家公司以後有打算切入深紫外光甚至極紫外光嗎

[@Ansforce]

@user-dg5bq4op4e 這種LED是瞄準印刷電路板和先進封裝市場，這兩個能做到就很厲害了！DUV或EUV那種高階半導體設備，還不太適合。

[@troywang2274]

30年前就開始做黃光製程，從來沒聽過“光刻機”！

[@Gary-xt8rz]

這條路很遠很辛苦啊....一二線客戶可能不敢用或驗證期要非常長，同時做一個曝光機Projection鏡頭也是要價不斐，沒有政府的支持錢很快燒完

[@aiot9851]

政府有看到嗎？ 半導體產業需要支持，特別是創新研發，新創初期需要支持，才能走過被認證和驗證的經歷！ 加油！

[@68karajan]

風電太陽能停車場還沒賺飽，沒空理你。

[@familystar2008]

對位精度可達 ≤ ±10μm(底片對底片±5μm雙面) => 不是做IC 吧

[@Ansforce]

@familystar2008 這種等級只能做封裝，所以台灣的曝光機技術甚至落後大陸呀！我們要好好努力！

[@ChihchengHsu-s2n]

有人跟我一樣影音不同步嗎？

[@凃邑函]

沒有哦

[@clamgoh]

如果除了ASML 也可以做的出來，那麼華為應該也做的出來

[@林蒙蒙-p5q]

真的非常很有可能

[@luojiang]

半导体设备工艺链太长， 需要太大的投入。 大陆现在半导体设备虽然进步很大，但是还是非常艰难，但是现在大陆的刻蚀机还是非常强悍了，主要在美国的华人才过来搞定的

[@soiltaylor5275]

很尷尬，技術不上不下的，節能不會是選型的首選

[@Ansforce]

@soiltaylor5275 你說的對，不過這個設備是可以用來做先進封裝的。

[@me70503YT]

未來如果碳交易落實 應該會很有感

[@chenenjoytheluxury2668]

可能業界還好，但這對學術界幫助滿大的，畢竟大家都知道學生做實驗都要對錢斤斤計較的。再來就是成熟製程這種也是削價競爭的市場

[@王和-i7u]

@@chenenjoytheluxury2668做先进封装用这个应该不错，可以取代一部分g line和I line

[@黃錫仁-n7j]

技術再改善 有機會可再上層樓。。。

[@chunglia8161]

不要被阿共偷走

[@有鄰-s6q]

如果DoF 不應用在納米級製程，那跟COWAS 的製程穩定貢獻，應該就沒有甚麼幫助，有沒有提到跨入納米級的關鍵問題？這個才是專業面對問題的態度，才是台灣精神。很樂意看到新技術主導掌握在台灣手裡，但是.... 不管怎麼樣，政府應該有政策支持未來的產業，而不是一直蹭產業自己篳路藍縷發展後的成果。 台灣加油！

[@Ansforce]

為什麼DoF不能用在先進封裝呀？