ASML: Verkleinen chips is grote kunst

ASML uit Veldhoven behoort al jaren tot de marktleiders op het gebied van machines voor de halfgeleiderindustrie. Bijna iedereen bezit dan ook wel een stukje elektronica waarin een chip zit, die met behulp van de machines van ASML is geproduceerd. Het zijn echter spannende tijden voor ASML. De vraag van de klant is complex: nieuwe consumentenelektronica moet steeds kleiner en zuiniger worden en de chips moeten daarvoor zorgen. De Wet van Moore, vernoemd naar een van de oprichters van Intel, stelt dat het aantal transistors op een computerchip na een bepaalde periode verdubbelt, maar daar lijkt langzamerhand een einde aan te komen. In Veldhoven is men flink bezig om zijn technologie te verbeteren en zitten er zo'n 3000 mensen op de afdeling Research & Development. Momenteel gebruiken de meeste systemen van ASML nog steeds een fotografisch proces om patronen op wafers aan te brengen. Deze zogenaamde immersielithografie wordt gerealiseerd met licht met een golflengte van 193nm, waarbij een laagje water tussen lenzen en wafer extra lichtbreking oplevert.
Alsof de werking van immersielithografie al niet moeilijk genoeg is, is men bij ASML alweer vele stappen verder. Er zijn al drie generaties van een machine ontwikkeld die gebruikmaakt van extreem ultraviolet licht, ook wel euv genoemd. Hiermee moeten er straks nog kleinere chips gemaakt kunnen worden. euv-lithografie werkt echter op een totaal andere manier dan de technieken die ze voorheen gebruikte. Ze zoeken in Veldhoven dan ook flink de grenzen van de natuurkunde op.
Euv is ook niet het eindpunt. Een mogelijke opvolger zou Directed Self-assembly kunnen zijn, zelf-geassembleerde elektronica. Dit idee stamt uit 1976, maar is nog nooit écht in de realiteit ingezet. En dan is er altijd nog de interessantste vraag: is die oude Wet van Moore uit de jaren '60 nog wel vol te houden? Of komt er binnenkort een eind aan dit verschijnsel en zal het verkleinen van chips op een gegeven moment toch echt stoppen?