半導体製造の“大問題”解決なるか「EUV露光装置」の変換効率が2倍に【橋本幸治の理系通信】（2023年10月3日）

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Күн бұрын

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サイエンスニュースを伝える「理系通信」。今回のテーマは「半導体」です。アメリカのパデュー大学や宇都宮大学などの日米研究グループは、最先端の半導体を製造するうえで欠かせない「EUV露光装置」において、光源の変換効率の理論上限が10.3%であること、そしてそれを実際に達成するための条件を明らかにしたと発表しました。現状の変換効率は5～6%なので、それを約2倍にできるという報告です。EUV露光装置による莫大な電力消費は、最先端半導体を作る際の一つの”大問題”で、それを解消する有力な策となるかもしれません。研究チームはどのようにして効率2倍を達成したのか、また、EUV露光装置の分野で、日本は高いポテンシャルを持ちながらなぜ“敗れた”のか、また今後日本にチャンスはないのか。詳しく伝えます。
※引用元
●論文：Optics Express(2023)
Atsushi Sunahara, Ahmed Hassanein, Kentaro Tomita, Shinichi Namba, and Takeshi Higashiguchi
Optimization of extreme ultra-violet light emitted from the CO2 laser-irradiated tin plasmas using 2D radiation hydrodynamic simulations
opg.optica.org...
●プレスリリース：宇都宮大学のHP
【研究成果】EUV光源の世界最高変換効率（理論値）10.3%の達成 ― 超微細の先端半導体製造の省エネ化にブレークスルー ―
www.eng.utsuno...
#半導体 #EUV #露光装置 #製造装置 #微細化 #極紫外線
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Пікірлер: 34

@tvtokyobiz Жыл бұрын

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@kotosolo7541 11 ай бұрын

その光源に封じられているネオンの製造は60％以上をウクライナなんだけどね。今製造止まっているというか工場あるのかな。ドネツクの

@火の狐 Жыл бұрын

有料に文句言ってる人はお金払って見ればいいのに。これはお金払ってでも見る価値あるよ。月額550円だし。

@osg1017 Жыл бұрын

テレ東チャンネル質が高くて好きだったけど、こうやって有料チャンネルへの撒き餌に成り下がったのを見るのは残念。

@hitomih8888 Жыл бұрын

エネルギーコストが問題なのですね。技術的な話、詳しく説明いただいて、ほんの少し理解が進みました。

@maoga1118 Жыл бұрын

これも続きはこちらですか、、、これと豊島さんのだけでも残して欲しかったな、、、

@Cowboys-from-Hell Жыл бұрын

理系通信までも有料チャンネルへの誘導に使われるようになってしまったか

@ShikimoriMobile Жыл бұрын

Canon、Nikon追いつけるぞ！頑張れ

@user-wakaWR 11 ай бұрын

メンバーシップ動画で出してほしいわ。プラットフォーム移動するのめんどくさい。

@遥悠々-k5h Жыл бұрын

兆円クラスの政府投資が必要です。政府の数百億円ではダメです。

@遥悠々-k5h Жыл бұрын

オランダASMLは１ナノ以下、アメリカIBMはシリコン１原子のメモリーを目指しています。電力は一企業あたり一発電所を作ればいいでしょう。例えば、超小型原子炉を採用するとか、です。

@user-xs4if9tz5p Жыл бұрын

私は先端恐怖症です

@tvtokyobiz Жыл бұрын

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@humuhumu739 Жыл бұрын

これも有料誘導か。。。

@zumzum3458 Жыл бұрын

作る過程でも省エネが求められますね

@hikakinwokoshitainatv Жыл бұрын

1台200億円Σ（・□・；）

@ぽよぽよりん 5 ай бұрын

200億では全く足りません。 intel D1Xに納入された最新EUV露光装置は、1ドル150円換算で550億です。

@ストレイキャッツガーネット Жыл бұрын

スズにレーザーを照射するというのは、過去にIBMがシンクロトロン放射光を使うことを想定していたのと比べると、コンパクトでありすごい発明なのだろう。しかし、シンクロトロン放射光施設はまだ巨大だが、日本のSAKURAのように、直線状の施設になっているし、加速装置もコンパクトになっているので、近い将来はファブに収められるサイズの装置になると思う、この場合光源としての品質は高い。消費電力についてはなんとも言えないが。

@keijimaeda4397 10 ай бұрын

EUVの発生メカニズム自体は何十年も前からわかっていましたよ。実用化できるレベルまで投資を集めて開発したことが凄い。