원자층증착법 (atomic layer deposition) 강의

[@dannymr3727]

졸업한지 수년 지났는데 관심분야 대학 강의를 듣게 되어 너무 좋습니다 감사합니다

[@Hwang_Chem_Engineering_Story]

안녕하세요. 화학/화학공학과 전공 관련 강의 동영상이 제 KZbin 채널에 많이 있어요. 공부하는데 많은 도움이 되었으면 좋겠네요

[@후닝-v7w]

너무 좋은 강의입니다.. 감사합니다!

[@최종범-d2k]

Ald에 관심있던차에 재미나게 봤습니다 감사합니다 ^^

[@YoSepMin]

도움이 되었길 바랍니다.

[@허정-r1o]

안녕하세요. 강의 너무 유익하게 들었는데, 중간에 질문이 하나 있어서 남깁니다. Incubation period 에서 성장속도가 낮은 여러가지 이유중 분자가 bulky 하기 때문도 언급하셨는데, 해당내용은 첫번째 layer뿐만아니라 모든 layer에서 리간드가 떨어지기 전 투입되는 precursor의 크기는 똑같기 때문에 이유가 되기 힘들것 같다는 생각이들어서요..... 혹시 제 생각이 맞는지 여쭤보려고 댓글남깁니다. 감사합니다!!

[@user-pastar]

감사합니다

[@ih-k4395]

교수님 강의 잘 봤습니다 ^^ 혹시 ALD의 장점중에 Step coverage 가 매우 좋다고 알고 있는데, Good Conformality 와 Good Step coverage 의 차이점을 알 수 있을까요?

[@잉여잉여-i5y]

안녕하세요 박사님 혹시 흡착과 증착의 차이 여쭤봐도 될까요... 고등학생 수준으로요!

[@YoSepMin]

동영상 내용에도 있지만, 흡착에는 물리흡착과 화학흡착이 있구요. 분자들이 흡착자리에 자리를 차지하고 앉는 것을 말합니다. 그에 비해서 증착은 여러가지 이유로 고체 표면에 물질이 쌓이는 것을 통칭합니다. 즉, 증착의 원인으로는 흡착도 있을 수 있지만, 분자의 열분해나 기상반응의 반응생성물이 고체화되어 표면에 쌓이는 것일 수도 있어요... 따라서 증착 (deposition)이 더 넓은 의미라고 생각됩니다. ALD는 화학흡착을 이용한 진공증착법입니다. 즉 흡착보다 증착이 더 넓은 개념의 용어입니다.

[@잉여잉여-i5y]

@@YoSepMin 박사님 안녕하세요. 이해하기 쉽게 댓글 달아주셔서 감사합니다. 혹시 제가 요즘 화평법에 대해서 좀 알아보고 있는데, 상당히 정부와 기업간에 마찰이 있고 특히 중소기업의 반대가 은근 심하더라고 하더라구요... 한국의 화평법은 리치법을 따른것으로 알고있는데 왜 이렇게 마찰이 있는지 궁금하고, 어떤 점에서 지금 마찰이 있는지 자세하게 알려주실수 있나요? 정치적인 이야기 일수도 있어서 혹시 답변하기 어려우시면 안해도 괜찮습니다. 코로나 조심하고 항상 건강하세요^^

[@YoSepMin]

@@잉여잉여-i5y 제가 모르는 분야인 것 같습니다. 화평법, 리치법이라는 용어 자체를 모르고 있습니다.

[@잉여잉여-i5y]

@@YoSepMin 아 괜찮습니다 ㅎㅎ 답변 감사합니다!!

[@랄랄-s3r]

오