光學微影縮IC百萬倍 | 林本堅院士

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Күн бұрын

#林本堅 #半導體 #浸潤式微影 #台積電 #電機工程學
111年知識饗宴-蔡元培院長科普講座「光學微影縮IC百萬倍」
主講人：林本堅院士 (國立清華大學特聘研究講座教授、半導體研究學院院長)
主持人：周美吟副院長時間：111年1月11日(星期二)晚上7時至8時30分
地點：本院學術活動中心2樓第1會議室
00:00:00 開場
00:04:12 演講
演講摘要：
80年代迄今，集體電路中半導體的最小尺寸從5 #微米縮到5 #奈米，一共是1千倍，經過21個節點，從面積來算，集體電路縮小了整整一百萬倍。這麼高的倍數從何而來？增加鏡頭的孔徑只能縮約十倍，從縮短436奈米的波長到193只能縮到44%，兩種方法合併起來只能從5微米縮到114奈米。要縮到5奈米還需要很多別的方法。這場演講會介紹並解釋達到波長廿分之一尺寸的工具和方式。
講者簡介：林本堅院士是國際知名的 #半導體技術專家，服務產業界超過50年，擁有許多創新發明和傑出獎項，有半導體界「浸潤式微影之父」之稱。 1970年他於俄亥俄州立大學獲得電機工程學博士後，即加入美國IBM公司，歷任研究員、研發經理及部經理。1991年創立領創公司( #Linnovation, Inc)。2000年起回國加入 #台積電公司，先後擔任資深處長及研發副總經理，2002年以浸潤式微影技術的研發成果，對全球半導體產業製程的創新與進步，獲得許多國際榮譽，如國際電機電子工程師學會（#IEEE）#西澤潤一獎、克雷多布魯奈提獎、國際光學和光電學會（#SPIE）首屆 #FritsZernike奬等。並於2014年獲選為本院第30屆院士，為國內 #首位企業界院士。他也是美國國家工程學院院士、工研院院士，並擁有 78 項美國專利、133篇論文及2本專書著作。近年，許多重要科技大獎表彰林院士的傑出貢獻，包括未來科學大奬-數學與計算機科學奬(2018)、#潘文淵奬 (2021)等。林院士2016年起擔任國立清華大學特聘研究講座教授，並於2021年出任清華大學第一任半導體研究學院院長，致力培育世界級的半導體領袖人才。
科普講座介紹： #蔡元培院長為浙江紹興人，生於民國前45年，民國29年病逝於香港，享年74歲。他在青年時期獲得傳統的科舉功名後，曾委身於教育與文化改革，並在遊學歐洲時，埋首學習新知。民國成立後，應國父之命於南京出任首任教育總長，以新觀念建立我國教育制度。民國6年接任北京大學校長，致力培養自由研究學風，以提高學術水準。民國16年創設中華民國大學院以取代原來的教育部，總攬全國學術及教育行政工作。民國17年，中央研究院成立，蔡元培辭去大學院院長一職，專任中央研究院院長，全心致力於本院的深耕與發展，為本院學術研究奠定了良好的根基。
*影片於2024.3.27更新上傳，字幕由AI自動生成，僅供參考。